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聚焦光刻机,加速国产发展

2020-09-27 01:03

到了80年代,ASML诞生了。据说过的人都知道,ASML是今朝行业最为顶端的半导体产商之一,任何高端芯片的产都离不开它的光刻机。而我们当然也在赓续提高,但始终达不到它的妙技水平。

中科院出手!开始聚焦光刻机,加速国产发展

 

到了90年代,我们的光刻机就始终被卡在193纳米长达20年,亏得2002年被台积电的林本坚博士攻破,提出了浸入式193纳米规划,得到告捷。

 

 

不过仍旧受限于妙技,咱们照样后进了ASML20多年,要知道,这个时分的ASML也曾初阶进行EUV光刻机的研发了,况且于2010年研收回第一台EUV原型机。

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跟交涉好了似的,这个期间的半导体财富劈脸了大力发展,中国芯片也劈头在2016年量产90纳米、110纳米和280纳米三种光刻机。

 

 

直到当初,咱们能真正完成量产的最后裔光刻机的制程,也照常90纳米。与同期的ASML比拟,咱们的不同还好坏常大。

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不外,目下当今好信息终究来了,中科院院长曾经在今天不日正式宣布:面对美国对中国高科技财产的打压,将美国"恰谈"的清单变为科研工作清单进行布局,比喻航空轮胎、轴承钢、光刻机与一些枢纽手艺、枢纽原质料等。

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没错,在经历了这么多之后,咱们的科研人员后果要对光刻机入手了,即使还需要一段年华来持续积淀,但我置信在中国科研职员的不时奋力下,咱们隔绝距离来到美国技艺的那一天,必定不会远了。

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